Equipe PRI(Brooks) ロボット/プリアライナー修理 株式会社ART

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修理項目

当社のサービスには、お客様のニーズに合わせて以下の修理業務を実施しております。

機能修復および再較正

ATM-105
不具合部品の特定診断を実施、不具合部品の交換作業、再校正作業の実施
例:ATM-105 Robot 不具合状況確認作業
不具合部品交換、校正作業
例:PRE-200 Pre-Aligner 不具合確認は精度測定が重要な判断基準となります。作業内容は弊社までお問い合わせフォームよりご連絡いただけましたら、早急な御返信をさせていただきます。


ABM-405
不具合修理と予防保守

不具合部品の交換、予想される有効寿命に達すると思われる摩耗部品交換 再校正作業の実施
例:ATM-405 Robot 不具合状況確認作業不具合部品交換、予防保全部品交換(モータ、トランスミッション)、校正作業実施

PRE-300
不具合修理と予防保守

不具合部品の交換、予想される有効寿命に達すると思われる摩耗部品交換 再校正作業の実施
例:PRE-300 不具合状況確認作業不具合部品交換、予防保全部品交換(LED、CCD-sensor、タイミング ベルト、モータ、ベアリング)、校正作業実施

equipr robot system
リファビッシュメント
 
ロボットの分解点検作業、交換する必要のあるモーター、ベルト、プーリー、ベアリング、シャフトなどが交換対象、アライメント作業実施、校正作業の実施



キャリブレーション
校正テスト

ウェーハや基板の安全な取り扱いには、精度や再現性などの性能仕様が不可欠です。
修理または改装が工場の仕様を満たしていることを確かめるために、私たちは、 ロボットとコントローラを検証するために、すべての動作を通して広範なテストと動作サイクルをシミュレートします。